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详情和优势

针对行业通常的小样本,多变量现状,算法从业务,统计和算法角度提出了一整套特征筛选的方法。利用历史的面板各个相关制程的工艺参数,关联实际抽样量测数据,进行分析和挖掘,建立回归模型,输出模型关键因素及效果评估。算法不仅可以进行线宽的虚拟量测,也可以推广到众多类似的场景中。

方案价值

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